多弧离子镀膜原理1518
一:多弧离子镀简介及原理 如采用两个或两个以上真空电弧蒸发源(简称弧源)时,则称为多弧离子镀或多弧镀。它是把真空弧光放电用于蒸发源的一种真空离子镀膜技术,(蒸发源为固体阴极靶,从阴极靶源直接产生等离子体,弧靶可以任意方位 多源布置确保镀膜上色均匀)。它的电弧形式是在冷阴极表面上形成阴极电弧斑点。当阴极受到大量高速正离子轰击而被加热到高温时,因阴极产生显著的热电子发射,从而使等离子体放电中的阴极位降降低,放电电流增大。该阴极位降只需保持阴极区能量(即电流与阴极位降的乘积),即足以使阴极维持电子热发射所需要的温度,就可以维持弧光放电。 二:弧光放电原理 在阴极电弧放电中,只有那些温度最高 电场最强或逸出功最低的微小区域才发射电子。因此,我们可以通过机器的观察窗口看到真空电弧在阴极表面有一圈圈闪动的耀眼辉光,它是由一个或数个不连续 很小且极亮的辉光斑点(称为阴极辉光点或阴极斑点)的生成----熄灭,再移位生成----再熄灭的一系列快速过程的弧斑轨迹而形成的一系列的电弧过程。 三:多弧镀的膜系和颜色 真空多弧离子镀已广泛用于:刀具.餐具.玻璃.陶瓷.水晶产品.塑料和各类五金系列产品。 膜系包括TiN.ZrN.HfN.TiAIN.TiAINC.TiC.TiNC.CrN 等。 彩色膜系有枪黑色.乌黑.紫色.棕色.宝蓝色.玫瑰色.古铜色.金色.七彩色等。 下一篇PVD真空蒸发镀膜原理
|
|